控制系统 - 处理装置 - 七星华创

七星华创超高温退火炉

品牌：七星华创

生产商：北京七星华创电子股份有限公司

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七星华创超高温退火炉产品介绍

产品介绍：

设备应用于大规模集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域，适用2"～8"硅片退火、氧化、扩散、预沉积等工艺。

描述：

1.关键件全部采用进口件，具有高可靠性。
2.采用高可靠性工业控制微机，对炉温、阀门、送料装置的进舟、退舟、停舟进行全自动控制，全部工艺过程实现自动化，具有高抗干扰能力。
3.具有良好的人机界面，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺参数。
4.具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。
5.具有多种报警功能及安全保护功能。
6.具有强大的软件功能，配有故障自诊断软件，可大大节省维修时间。
产品选型详见订货须知。

七星华创超高温退火炉技术参数

产品参数工艺管外径：可配Φ260mm上管工作温度范围：400～1450℃下管工作温度范围：400～1250℃上管恒温区长度及精度：600～1350℃ 760mm/±0.5℃下管恒温区长度及精度：600～1250℃ 760mm/±0.5℃上管单点温度稳定性：600～1350℃ ±0.5℃/24h下管单点温度稳定性：600～1250℃ ±0.5℃/24h最大可控升温速度：15℃/min最大降温速度：5℃/min