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控制系统 - 处理装置 - 七星华创

七星华创 D41-11C/ZM四探针电阻率测试仪

品牌：七星华创

生产商：北京七星华创电子股份有限公司

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七星华创 D41-11C/ZM四探针电阻率测试仪产品介绍

产品介绍：

设备用于测量硅片的薄层电阻和电阻率，也能测量其他半导体片、膜的薄层电阻和电阻率，且可对扩散、外延、离子注入等工艺设置进行监测和评估，该测试仪还可用于镀膜玻璃行业对金属膜层的薄膜电阻进行测量。

描述：

1.采用工控机控制、基于WINDOWS98系统平台的测试程序，具有良好的人机界面。
2.可以通过鼠标输入的方式选择测量项目、测量方式、测量方法等测试所需参数，操作简单，方便。
3.根据需要对测量参数进行保存、打印，并可根据所选数据的结果绘制、打印直方图，以满足用户进行数据统计和数据管理等要求的需要。
4.探头采用美国原装产品，测试稳定、可靠。
产品选型详见订货须知。

七星华创 D41-11C/ZM四探针电阻率测试仪技术参数

产品参数适用晶片尺寸：2电阻率：6E-3～5E4（Ω·cm）测量精度：（1～100）Ω·cm ≤±3％，高阻、低阻≤±5％薄层电阻：1E-1～9E5（Ω/□）测量精度：（1～1000）Ω/□ ≤±3％，高阻、低阻≤±5％金属电阻：3E-2～2E5（Ω）测量精度：≤±3％

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