API XD LASER激光干涉仪实现高端精密自动化设备的高效检测

高端制造业的精密自动化设备需求

伴随着高端制造产业如：液晶面板、太阳能光伏、锂电新能源、激光、贴装、半导体、医疗制造、精密喷绘、精密检测、点胶等行业的兴起或进阶，带来了庞大的精密自动化设备需求；为匹配高端制造业相应技术要求，自动化设备的制造及标定技术标准也在不断提升；这其中，无论是在生产制造过程中的测量检测、还是在设备服役期间的校准标定，都是重中之重的环节，为自动化设备的稳定运行提供最坚实的保障。

图1：大理石平台双X、Y轴自动化设备（左上）&检测中需关注的误差种类示意（右下）

高端自动化设备特征及检测需求

高端精密自动化设备，通常情况，使用大理石平台框架搭载直线电机驱动组合的形式较多（如图1示意）。这类平台通常具有两个X轴、两个Y轴，且精度方面要求关注的数据比较多。

除了安装过程中需要严格控制直线度、垂直度、平行度以外，安装完毕后，直线电机运动的线性误差（定位精度、重复性）、小角度（偏摆角、俯仰角、滚动角）等数据也需要得到充分关注。而使用传统检测手段实施这些误差参数的检测，往往耗时耗力、且精准度和客观性难以得到最佳保障。

图2：XD LASER激光干涉仪测量作业中（左）&数据报告

（右，由上至下依次为：线性误差曲线图、直线度误差曲线图、角度误差曲线图、软件中的实时数值显示）

API解决方案

基于高质量检测标准和针对以上各参数项的检测需求，使用XD LASER激光干涉仪，一次安装即可同时实现对：线性定位误差（定位精度、重复定位精度、反向间隙）、直线度误差（XX方向和YY方向）、垂直度误差、以及角度误差（俯仰角、偏摆角、滚动角）的检测（如图2示意），测量效率较传统激光干涉仪提升五倍以上！

XD LASER激光干涉仪特征特点

01实现线性定位误差测量：包括定位精度、重复定位精度、反向间隙；

02实现直线度测量：包括垂直于运动轴方向的两个方向（竖直、水平）的直线度；

03实现角度测量：运动中的俯仰角、偏摆角、滚动角；

04一次安装可同时测量上述参数，无需更换光学组件，效率较传统干涉仪提高五倍以上；

05直线度和角度测量中不怕断光，可以替代准直仪使用，对安装进行指导调整；

06安装灵活方便，可以选择多种安装方式，即使在最苛刻的拥挤环境也可便捷使用；

07精密型可选，充分满足工厂及实验室使用需求。

图3：XD LASER激光干涉仪与应用

全面机床误差检测&补偿解决方案

除XD LASER激光干涉仪外，API还基于自主科研开发出了SWIVELCHECK角摆检查仪、BALLBAR球杆仪、SPINDLECHECK主轴分析仪、VEC大型机床空间误差补偿技术等机床误差检测与补偿设备与技术，为您提供机床误差全方位检测与校准解决方案，敬请联络API各地办事机构详询。

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