Renishaw全新激光测量技术为您提供简便的精密定位解决方案
Renishaw的RLE激光尺是基于激光干涉原理设计的，与传统的钢带/玻璃光栅相比，不但易于使用，同时也能提供理想的性能。
该系统设计简便，利用光纤连接直接将激光束导入轴上的测量位置，从而避免了传统同类系统所需的复杂的转向、分光和安装结构。通过这种传送方式，我们可以实现快速安装，大大减少了安装空间和综合成本。RLE系统包括两个主要部件：RLU激光器和RLD激光探测头，并且可以提供不同的配置选项。Renishaw可以提供与单光程发射头配合使用的回射反射镜，也能提供双光程应用的光学镜(平面镜)。
在使用标准的双光程差分干涉仪进行一米以内的测量时，RLE系统是理想的选择，常见的应用有：光刻机、集成电路模板、半导体硅片、LCD 检测设备、光纤校正装置、计量以及其它精密运动系统。
最近，RLE家族再添新丁：
• 性能显著提升的RLU20激光器，稳频精度高达10-9 ppm。在真空条件下，在300毫米的轴上，其定位误差优于1纳米。
• 差分干涉仪探测头主要用于处理/检测设备需要光路精细准直的应用场合。探测头可以安装在真空腔体的外部，而激光束可以通过合适的位置进入真空腔体。探测头内集成了激光光束调节装置，可以对每组激光光束独立进行俯仰和偏摆的调节。无需进入腔体，即可完成仪器的安装！
• 36位并行接口(RPI20)可以对正弦/余弦输入信号提供4096细分，最高分辨率可达40皮米(百亿分之一米)
该系统设计简便，利用光纤连接直接将激光束导入轴上的测量位置，从而避免了传统同类系统所需的复杂的转向、分光和安装结构。通过这种传送方式，我们可以实现快速安装，大大减少了安装空间和综合成本。RLE系统包括两个主要部件：RLU激光器和RLD激光探测头，并且可以提供不同的配置选项。Renishaw可以提供与单光程发射头配合使用的回射反射镜，也能提供双光程应用的光学镜(平面镜)。
在使用标准的双光程差分干涉仪进行一米以内的测量时，RLE系统是理想的选择，常见的应用有：光刻机、集成电路模板、半导体硅片、LCD 检测设备、光纤校正装置、计量以及其它精密运动系统。
最近，RLE家族再添新丁：
• 性能显著提升的RLU20激光器，稳频精度高达10-9 ppm。在真空条件下，在300毫米的轴上，其定位误差优于1纳米。
• 差分干涉仪探测头主要用于处理/检测设备需要光路精细准直的应用场合。探测头可以安装在真空腔体的外部，而激光束可以通过合适的位置进入真空腔体。探测头内集成了激光光束调节装置，可以对每组激光光束独立进行俯仰和偏摆的调节。无需进入腔体，即可完成仪器的安装！
• 36位并行接口(RPI20)可以对正弦/余弦输入信号提供4096细分，最高分辨率可达40皮米(百亿分之一米)
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